Aurion Anlagentechnik GmbH
Aurion Anlagentechnik GmbH
27.09.2024 16:05
Η διαδικασία RIE (Reactive Ion Etching) είναι μια διαδικασία ξηρής χάραξης η οποία χρησιμοποιείται κυρίως στην παραγωγή ηλεκτρονικών και μικροηλεκτρονικών για τον γρήγορο καθαρισμό ή την ενεργοποίηση επιφανειών, για την τέφρωση φωτοανθεκτικών ή για τη δόμηση κυκλωμάτων σε πλακίδια ημιαγωγών.
Για το σκοπό αυτό χρησιμοποιείται γενικά ο λεγόμενος αντιδραστήρας επίπεδης πλάκας, όπως φαίνεται σχηματικά στο σχήμα 1. Εάν στα ηλεκτρόδια εφαρμοστεί εναλλασσόμενη τάση υψηλής συχνότητας σε αρνητική πίεση της τάξης των 10-2 έως 10-1 mbar, αναφλέγεται μια εκκένωση αερίου χαμηλής πίεσης (πλάσμα). Λόγω της διαφορετικής κινητικότητας των φορτισμένων σωματιδίων αερίου στο πλάσμα (βαρέα ιόντα, ελαφρά ηλεκτρόνια), δημιουργείται αρνητικό δυναμικό στο μικρότερο ηλεκτρόδιο, το λεγόμενο δυναμικό αυτοστρέβλωσης. Αυτό είναι της τάξης των μερικών 10 έως μερικών 100 βολτ.
Δύο φαινόμενα λαμβάνουν τώρα χώρα στα υποστρώματα (wafers, πλακέτες τυπωμένων κυκλωμάτων κ.λπ.) που βρίσκονται πάνω στο μικρότερο ηλεκτρόδιο, όταν χρησιμοποιούνται τα κατάλληλα αέρια διεργασίας:
Η διαδικασία RIE συνδυάζει τα πλεονεκτήματα και των δύο φαινομένων - υψηλή επιλεκτικότητα, υψηλή ταχύτητα χάραξης και ανισοτροπική αφαίρεση.
Με βάση το υψηλό επίπεδο γνώσεων και την εκτεταμένη εμπειρία στον τομέα των διεργασιών πλάσματος υψηλής συχνότητας, η AURION έχει αναπτύξει μια σειρά συστημάτων RIE, τα οποία χαρακτηρίζονται κυρίως από ευελιξία και πολύ καλή σχέση τιμής/απόδοσης. Η σειρά περιλαμβάνει διάφορα μεγέθη συστημάτων για μεγάλη ποικιλία υποστρωμάτων, παροχών και ρυθμών αφαίρεσης. Λόγω της μεγάλης δυνατής χωρητικότητας φόρτωσης (έως και 25 πλακίδια με Ø 150 mm ή 20 πλακίδια με Ø 200 mm) με μικρό χώρο (μέγιστο 1,5 m² στο καθαρό δωμάτιο), μπορεί να επιτευχθεί σε ορισμένες διεργασίες απόδοση άνω των 100.000 πλακιδίων ετησίως, παρά την απουσία ακριβού συστήματος αυτόματου χειρισμού. Αυτή η πτυχή δεν είναι πολύ ενδιαφέρουσα μόνο για εταιρείες με μικρό προϋπολογισμό επένδυσης.
Κατηγορία
Προσφορές
Κράτος
Γερμανία