Ταχύτητα, ανάλυση, 2D ή 3D - ανάλογα με την εφαρμογή, οι κατασκευαστές έχουν διαφορετικές προτεραιότητες κατά την επιθεώρηση προϊόντων ημιαγωγών. Η Comet Yxlon προσφέρει μια ποικιλία συστημάτων επιθεώρησης με ακτίνες Χ και αξονική τομογραφία προσαρμοσμένων σε συγκεκριμένες εργασίες επιθεώρησης.

ακτινοσκόπηση 2D

• Γρήγορη δημιουργία εικόνας, ιδανική για επιθεωρήσεις εντός της διαδικασίας
• Κύρια εφαρμογή: παραδοσιακή συσκευασία
• Επιθεώρηση απλών δεσμών καλωδίων, vias και εξογκωμάτων συγκόλλησης
• Διατίθεται με Cheetah και Cougar - η καλύτερη εικόνα στον συντομότερο χρόνο με ανάλυση κάτω των μικρομέτρων

Laminography με υπολογιστή (CL)

• Προσδιορισμός των χωρικών ιδιοτήτων των εξαρτημάτων καθώς και της θέσης και του μεγέθους των ατελειών
• Κύρια εφαρμογή: Προηγμένη συσκευασία
• Δειγματοληπτική επιθεώρηση πολυστρωματικών συσκευασιών και ολοκληρωμένων διατάξεων
• Διατίθεται για τα συστήματα Cheetah και Cougar με κάθετη διαδρομή δέσμης και υψηλότερη ανάλυση, καθώς και για τα συστήματα FF20 CT και FF35 CT με οριζόντια διαδρομή δέσμης

τρισδιάστατη υπολογιστική τομογραφία (CT)

• τρισδιάστατες μετρήσεις για τον προσδιορισμό των χωρικών ιδιοτήτων, της θέσης και των διαστάσεων των ελαττωμάτων
• Κύρια εφαρμογή: λεπτομερής ανάλυση ατελειών
• Διατίθεται με τα συστήματα FF20 CT και FF35 CT με διαισθητικό χειρισμό χάρη στη διεπαφή χρήστη Geminy και ως προσθήκη με τα Cheetah και Cougar
• Μετρολογία CT