Bronkhorst High-Tech BV

Μεταλλικοί σφραγισμένοι μετρητές ροής μάζας αερίου

Μετρητές ροής μάζας (MFM) Bronkhorst® μοντέλο F-111CM σχεδιασμένοι ειδικά για να καλύπτουν τις απαιτήσεις της αγοράς ημιαγωγών καθώς και άλλων εφαρμογών αερίου υψηλής καθαρότητας. Τα όργανα διαθέτουν υψηλή ποιότητα επιφάνειας και είναι αρθρωτής κατασκευής με μεταλλικές σφραγίδες που εξασφαλίζουν μακροχρόνια στεγανότητα. Το F-111CM ενδείκνυται για ακριβείς μετρήσεις σε εύρος ροής μεταξύ 0,12...6 sccm έως 1...50 slm (με βάση το N2) σε πιέσεις λειτουργίας μεταξύ κενού και 1500 psig (100 bar).

Οι σειρές EL-FLOW® Metal Sealed είναι εξοπλισμένες με ψηφιακή πλακέτα Η/Υ, προσφέροντας υψηλή ακρίβεια, εξαιρετική σταθερότητα στη θερμοκρασία και γρήγορη απόκριση. Η κύρια ψηφιακή πλακέτα pc-board περιέχει όλες τις γενικές λειτουργίες που απαιτούνται για τη μέτρηση και τον έλεγχο. Εκτός από την τυπική έξοδο RS232, τα όργανα προσφέρουν επίσης αναλογικές εισόδους/εξόδους. Προαιρετικά, μπορεί να τοποθετηθεί μια ενσωματωμένη διεπαφή για την παροχή πρωτοκόλλων CANopen®, DeviceNet™, EtherCAT®, PROFIBUS DP, PROFINET, Modbus RTU, ASCII ή TCP/IP, EtherNet/IP ή FLOW-BUS. Ο σχεδιασμός EL-FLOW® Metal Sealed διαθέτει προαιρετική λειτουργικότητα πολλαπλών αερίων / πολλαπλών περιοχών, παρέχοντας στους πελάτες (OEM-) βέλτιστη ευελιξία και αποτελεσματικότητα της διαδικασίας.